JTFB-1600复合分子泵

发布时间:2019-05-30编辑:浏览量:3301

7   JTFB-1600复合分子泵

JT系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大压缩比高,牵引泵高压强时抽速大,压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。

复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏,照明,宇航、半导体、能源、军工、激光、家电材料、汽车等真空技术的各个领域.


JTFB-1600复合分子泵外形尺寸、安装连接尺寸

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  JT系列复合分子泵技术参数表


表-3    JTFB-1600复合分子泵技术参数表

型号

JTFB-1600

高真空法兰(mm)

250 CF/250 ISO-K

前级管道法兰(mm)

50 KF

抽气速率(L/S)(对空气)

1600

压缩比

N2

>109


H2

                        >1X104

极限压强(Pa)

<8×10-8/<5×10-7

瞬时耐压

5000Pa

电机转数(rpm)

24000

振动值(μm)

≤0.15

启动时间(min)

<6

停机时间(min)

8

建议采用的前级泵(L/S)

15

冷却方式

水冷

水冷泵冷却水温度(℃)

≤20

冷却水流量(L/min)

1~2

泵体烘烤温度(℃)

<120

加热器功率(w)

<350

加热器输入电压(v)

AC220

安装方向

垂直±5°

泵重量(kg)

≈31


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JTFB-1600复合分子泵对大气的抽速曲线

33JTFB-1600复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线