JT系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大压缩比高,牵引泵高压强时抽速大,压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏,照明,宇航、半导体、能源、军工、激光、家电材料、汽车等真空技术的各个领域.
JTFB-1600复合分子泵外形尺寸、安装连接尺寸
JT系列复合分子泵技术参数表
表-3 JTFB-1600复合分子泵技术参数表 | ||
型号 | JTFB-1600 | |
高真空法兰(mm) | 250 CF/250 ISO-K | |
前级管道法兰(mm) | 50 KF | |
抽气速率(L/S)(对空气) | 1600 | |
压缩比 | N2 | >109 |
H2 | >1X104 | |
极限压强(Pa) | <8×10-8/<5×10-7 | |
瞬时耐压 | 5000Pa | |
电机转数(rpm) | 24000 | |
振动值(μm) | ≤0.15 | |
启动时间(min) | <6 | |
停机时间(min) | 8 | |
建议采用的前级泵(L/S) | 15 | |
冷却方式 | 水冷 | |
水冷泵冷却水温度(℃) | ≤20 | |
冷却水流量(L/min) | 1~2 | |
泵体烘烤温度(℃) | <120 | |
加热器功率(w) | <350 | |
加热器输入电压(v) | AC220 | |
安装方向 | 垂直±5° | |
泵重量(kg) | ≈31 |
JTFB-1600复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线