JT系列脂润滑复合分子泵其叶轮采用国内的变截面叶齿、轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承。以更高的可靠性实现了泵体的任意角度安装和清洁无油的高真空环境。
JTFB-1300Z脂润滑分子泵外形尺寸、安装连接尺寸
JTFB-1300Z脂润滑分子泵技术参数
表-4 JTFB-1300Z脂润滑分子泵技术数据 | |||
技术数据 | JTFB-1300Z脂润滑分子泵 | ||
高真空法兰 | 200 CF | 200 ISO-K | |
前级管道法兰 | 40 KF | ||
保护气体充气法兰(防腐泵) | 16 KF | ||
抽气速(L/S) | 1300 | ||
压缩比 | N2 | >109 | |
H2 | >1X104 | ||
极限压强(Pa)帕 | <8×10-8 | <5×10-7 | |
电机转数(n/min) | 24000 | ||
使用轴承 | 脂润滑陶瓷轴承 | ||
振动值 | ≤0.1μm | ||
启动时间(min) | <5 | ||
建议采用的前级泵 | 8-15 L/S | ||
冷却方式 | 水冷(风冷) | ||
水冷冷却水温度 | ≤20℃ | ||
水冷冷却水流量(L/min) | 1 | ||
安装方向 | 任意角度 | ||
泵重量(kg) | ≈27 |
JTFB-1300Z脂润滑复合分子泵对氮气及氢气的压缩比曲线